清溢光電688138.SH:佛山生產(chǎn)基地項目擬引入的光刻設備將不限于激光
導讀:
格隆匯3月7日丨清溢光電近日在接待機構投資者調(diào)研時表示,,平板顯示掩膜版方面,,公司陸續(xù)引進新的光刻機設備,后續(xù)將進一步提升產(chǎn)能,。
半導體掩膜版業(yè)務方面,,公司目前已擁有業(yè)內(nèi)先進的激光光刻機,,CD精度可達到130nm掩膜版的要求,。佛山生產(chǎn)基地項目擬引入的光刻設備將不限于激光光刻機,也將適時考慮引入電子束光刻機,。由于半導體光刻機的采購周期較長,,公司技術方面正在逐步提升,公司將分步投資,,具體請關注公司后續(xù)披露的相關公告,。
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